Avantages

Application d'une couche plus fine (< 1 μm) et une meilleure opacité que les sprays de scannage traditionnels. Par conséquent, résultat de scannage plus homogène et plus détaillé.
Grand pouvoir de séparation avec une reproduction détaillée des bords, en particulier pour les structures fines, pour des résultats de scannage précis.
Pas de formation de flocons ou de bulles (agglomération), donc réduction des erreurs dimensionnelles.
Particulièrement économique grâce à la couche très faible et microfine appliquée.